在等温测试中,尝试通过改变应力电流以及因此施加到线路的焦耳热量来保持被测线路的恒定平均温度。
等温测试使用反馈控制来维持被测金属化中消耗的恒定功率,从而实现恒定的测试线平均温度。
当测试过程中线路电阻由于电迁移损坏而发生变化时,通过改变应力电流来保持功率恒定
A Procedure for Performing SWEAT,JEP119A, wafer level不是为了替代掉PLR,而是一种更便宜方便的测试,用于生产线上monitor
事实上,等温测试期间管线中温度均匀的假设可能是一个很差的近似,除非使用适当的热建模和测试结构设计来最小化管线末端不可避免的温度梯度。
- Initialization phase
- Temperature staircase and convergence phases
- Stress phase
- Exit at failure of the test line
- Isothermal test characteristics