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深反应离子刻蚀(DRIE,Deep Reactive Ion Etching)
Bosch Principle
Bosch工艺中的化学反应
🗒️DTI intro-Bosch Process
2024-10-4
| 2024-10-5 - 作者:Garlan
- 链接:https://tangly1024.com/article/process-01
- 声明:本文采用 CC BY-NC-SA 4.0 许可协议，转载请注明出处。
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